Horno de campana HICON

tratamiento térmicode recocidode gas

Las láminas de aluminio para la industria electrónica deben cumplir los requisitos de calidad más exigentes. Para fabricar láminas de alta capacitancia solo se utiliza aluminio de la máxima pureza. La pureza del aluminio aumenta en función de la tensión de funcionamiento. Para aplicaciones de baja tensión es suficiente el grado AI3N8, mientras que para altas tensiones se requiere AI4N (AI 99,99 %). Durante el recocido se utiliza una atmósfera de proceso extremadamente pura para conseguir una capa uniforme de Al2O3 en la superficie de la lámina, lo que a su vez beneficia al grabado en túnel durante los procesos posteriores. El material se procesa a temperaturas de recocido entre 550 °C y 620 °C, y el punto de rocío de la atmósfera debe ser inferior a -30 °C. Para cumplir estos estrictos criterios, el recocido debe realizarse en un horno con una retorta estanca al gas y al vacío. Un horno de campana de HICON es ideal para esta aplicación. Los recocidos de campana de HICON se distinguen por las siguientes características Superficies metálicas diseñadas para vacío medio Gradientes flexibles de calentamiento y enfriamiento en vacío o en atmósfera de proceso Espacio de trabajo estanco al gas y al vacío