Horno tubular TubeStarde recocidode pirólisiseléctrico
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Características
- Configuración
- tubular
- Función
- de recocido, de pirólisis
- Fuente de calor
- eléctrico
- Atmósfera
- de vacío, en atmósfera controlada, de gas inerte, de nitrógeno, de hidrógeno
- Otras características
- automático, compacto, programable, horizontal, a medida, de laboratorio, industrial, para la industria electrónica, para circuito impreso
- Temperatura máxima
Mín.: 0 °C
(32 °F)Máx.: 1.200 °C
(2.192 °F)
Descripción
La plataforma de hornos TubeStar es un horno tubular compacto de tipo discontinuo. Esta plataforma está dedicada a aplicaciones de difusión, oxidación y deposición y se ha diseñado para satisfacer las necesidades de la ingeniería de procesos. La gama TubeStar es modular y flexible. En efecto, puede estar compuesta de 1 a 4 tubos independientes, con una capacidad de 50 obleas por tubo.
VENTAJAS Y BENEFICIOS
La plataforma de hornos TubeStar destaca en el tratamiento de pequeñas cantidades de obleas, pero también se adapta bien al tratamiento de grandes lotes gracias a su flexibilidad. Han demostrado su eficacia durante la cualificación de cambios de proceso, como en las líneas de fabricación fotovoltaica.
Una de las características clave de este horno tubular reside en la precisión del tratamiento térmico combinada con altos niveles de flexibilidad de ajuste. Esto permite un amplio espectro de aplicaciones.
APLICACIONES POSIBLES
Difusión
LPCVD
Oxidación
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Catálogos
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* Los precios no incluyen impuestos, gastos de entrega ni derechos de exportación. Tampoco incluyen gastos de instalación o de puesta en marcha. Los precios se dan a título indicativo y pueden cambiar en función del país, del coste de las materias primas y de los tipos de cambio.