El eje ZC neumático EZ-0745 está diseñado para su integración en una mesa XY (por ejemplo, EZ-0715). Debido al diseño altamente integrado, sólo se requiere una baja altura total de aprox. 138 mm. El ángulo de rotación está limitado a ± 3°. Una alta repetibilidad de ± 1,5 μrad permite una alineación muy precisa del sustrato. El eje Z está asegurado contra la rotación mediante 2 cojinetes neumáticos y es accionado dinámicamente por 2 bobinas de voz opuestas. Para el desacoplamiento del peso se ha integrado un cilindro neumático con cojinete de aire. Es posible un ajuste individual y específico del cliente de la carrera Z.
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