Eje lineal con motor lineal EZ-5504

de precisióncompactoreglable

Con el eje de enfoque EZ-5504, EIZENBERGER ha implementado un concepto de eje completamente nuevo e innovador. Las características externas son unas dimensiones compactas de 99 x 99 x 80 mm (largo x ancho x alto) y una abertura central continua de aprox. 35 mm para componentes ópticos. El cojinete neumático antideslizante permite la máxima precisión en todo el rango de carrera de 18 mm y una repetibilidad en el rango nanométrico. Además del error de posición extremadamente bajo, cabe destacar el escaso error de inclinación del eje. El eje de enfoque está permanentemente compensado por peso magnético y diseñado para una carga útil de 250 g. La compensación de peso es ajustable para masas de 50 a 300 g. El eje de enfoque puede moverse dinámicamente mediante un motor de bobina móvil. Como sistema de medición se utiliza un cabezal de medición Renishaw con una resolución de 1 nm y una interfaz BiSS-C. Aplicaciones: El eje de enfoque es adecuado para aplicaciones de alta precisión en los campos de la litografía, la exposición de máscaras, las aplicaciones de escaneado o, en general, para el posicionamiento de ópticas y sensores. Gracias a sus dimensiones compactas y al reducido peso del sistema, el eje puede integrarse fácilmente en numerosas aplicaciones. El cojinete neumático y los materiales utilizados predestinan al eje de enfoque para aplicaciones de sala blanca.