La Serie 12 es un regulador miniatura reductor de presión IGS/VCR®, de ultra alta pureza. La Serie 12 ofrece acabados de 5 Ra o 10 Ra micropulgadas, diafragma amarrado y diseño sin rosca ni muelle en el interior. Proporciona presiones de entrada de 10,4 bar / 150 psig, presión de salida desde 250 mm Hg-1,0, 2,1, 4,1, 6,9 bar / 250 mm Hg-15, 30, 60, 100 psig con caudales de hasta 120 SLPM. Ideal para uso en herramientas de OEM, cajas de gas y gabinetes de gas de baja presión.
Especificaciones
Material
-Diafragma: Hastelloy®
-Asiento: PCTFE
-Vástago de válvula: Hastelloy®
-Materiales restantes: acero inoxidable 316L VAR
Capacidad de caudal
-Estándar: Cv = 0,04
-Caudal alto: Cv = 0,08
Peso
-VCR®, IGS: 0,3 kg / 0,60 lb
-Estilo A: 0,5 kg / 1,08 lb
Información adicional
-Para modificaciones personalizadas o una solución del sistema completo, comuníquese con su oficina de ventas local.
Características
-Producto de elección para innovadores sistemas de gas OEM
-El control de presión ultra sensible mejora el rendimiento MFC
-Rendimiento superior en un amplio rango de aplicaciones
-Caudales desde 2 SCFM hasta 120 SLPM
-Caída incomparable y repetibilidad en un micro componente
-Diafragma de metal a metal al sello del cuerpo para alta integridad de fuga
-Acabado de superficie interna de 10 Ra o 5 Ra micropulgadas
-Cumple con las especificaciones de interfaz SEMI F19 y SEMI modular