Planarcap® LPX Filtros Desechables
Filtros desechables de punto de uso para abrasivos de sílice y alúmina para óxido y cobre CMP
Diseñado para su uso con soluciones de lechada de sílice y alúmina - más utilizadas en aplicaciones de cobre, ILD, STI y tungsteno CMP
Disponible en una amplia gama de grados de retención de 1 µm a 5 µm
Satisface las necesidades de las aplicaciones de filtración de lodos CMP en el punto de uso
Disponibles como filtros desechables con accesorios Flaretek
Construcción totalmente de polipropileno con medios de filtración plisados
Materiales:
Mediana: Polipropileno plisado de profundidad
Núcleo, jaula y caparazón: Polipropileno
Conexiones:
Entrada/salida: accesorio Flaretek® de 3/8" o 1/4
Ventilación/desagüe: 1/4" Flaretek® fitting*
Condiciones máximas de funcionamiento:
Presión máxima de funcionamiento: 0,27 MPa (2,7 bar, 40 PSI) a 25°C
Máxima presión diferencial adelante/atrás 0,27 MPa (2,7 bar, 40 PSID) a 20°C
Temperatura máxima de funcionamiento: 40°C (104°F)
Notas:
*La referencia SKNP 010L2F está disponible con venteo/desagüe MNPT de 1/8"
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