Filtro de aire SilverSet™

de carbón activadopara aplicaciones químicasplisado

Filtros químicos de SilverSet™ para la cubierta E2600 Las óptica avanzadas del explorador y resisten la protección Los medios activados del carbón en filtros de la entrada previenen la conversión de PGMEA al ácido acético, que puede causar la fotoprotección que procesa la variación y la corrosión del material La configuración de filtro de Asymetric previene la conversión de HDMSO a TMS, que causa la contaminación de la lente del explorador Los filtros híbridos que contienen el carbón alto-activado más medios plymetric avanzados quitan una gama completa de contaminantes incluyendo los ácidos, las bases y la materia orgánica condensable el curso de la vida de dos años del filtro en la eficacia del retiro del >99% para los ácidos, las bases y la materia orgánica condensable en bahía típica de la foto del recinto limpio condiciona El diseño plisado del filtro en marco rígido, profundo optimiza la superficie del componente activo para la utilización y la eficacia máximas La disposición serial del filtro con los puertos del muestreo del interstack proporciona niveles múltiples de protección y permite la supervisión de funcionamiento del filtro y la detección temprana de la brecha Funcionamiento químico de la filtración validado por los servicios de Entegris Analytical, ofreciendo garantía que todas las demandas del funcionamiento del filtro están verificadas con datos favorables.