Difusor de gases máximo de Chambergard™ II
Expresión directa y rápida en grandes cantidades al difusor de gases de la atmósfera
Proporciona rendimiento de procesamiento en grandes cantidades y la expresión rápida a la atmósfera
El retiro de mayor de 0.003 µm de las partículas del gas entrante reduce al mínimo defectos en las obleas
Recomendado para la pantalla plana y las industrias fotovoltaicas
Materiales:
Membrana: PTFE
Apoya: PFA
Cubierta el caber/del acoplamiento: acero inoxidable 316L
Grado del retiro:
retiro del ≥ 99.9999999% de las partículas del µm del ≥ 0.003 en gas
Limpieza rio abajo:
Limpieza 0.01 µm
Diferencial máximo pressure1:
barra 2.5 (la presión de entrada máxima es la barra 1.4 cuando estado de alto vacío)
Funcionamiento máximo temperature2:
120ºC (248ºF)
Garantía:
3 años o 1.000.000 cycles3
Nota:
temperatura ambiente 1at y en gases inertes
gases inertes de los 2in
temperatura ambiente 3at, en gases inertes y barra del ≥ 5 de la presión diferenciada
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