Filtro de gas Wafergard® III NF-30

de partículasde membranaen línea

Filtros en línea del gas NF-30 de Wafergard® III Filtración de partículas superior para la filtración del sistema de gas del ultrapure El más limpio, la mayoría de los filtros todos de metal eficientes disponibles La membrana patentada del filtro del níquel ofrece resistencia a la corrosión superior y compatibilidad excelente con los gases inertes y reactivos. (No recomendado para el uso con el CO, O3 y los gases bajos del dopante del hidruro.) Ideal para los usos de la temperatura alta y de la dinámico-presión Utilizado típicamente para los flujos hasta 30 SLPM Materiales: Elemento filtrante: Filtro de membrana patentado, sinterizado del níquel. Cubierta: Entramado de acero inoxidable de Electropolished F20 Interior superficial del final: Ra del μin <=5 Grado del escape del helio: 2 `calificado 10-10 atmósfera-cc/sec. Probado 1 `10-9 atmósfera-cc/sec. Limpieza rio abajo: Particles1: Menos de 0.03 partículas/litro (μm =0.003 Condiciones de funcionamiento: Presión de entrada máxima: barra 70 (1000 PSI) en 100°C Presión diferenciada delantera/del revés máxima: barra 10 (150 PSID) Temperatura de funcionamiento máximo: Gases inertes 400°C en la barra 35 (500 PSI); Gases corrosivos y reactivos: 50°C en la barra 70 (1000 PSI)