Filtro de gas Wafergard® II SF

de partículasde membranade alta eficacia

Mini XL filtros en línea del gas de Wafergard® II SF Filtración de partículas superior para la filtración del sistema de gas del ultrapure La membrana patentada del acero inoxidable proporciona la filtración de gran eficacia Ideal para los usos de la temperatura alta y de la dinámico-presión Compatibilidad excelente con la mayoría de los gases del proceso del semiconductor del ultrapure Para el uso con los gases inertes y reactivos Uso típico hasta 60 SLPM Materiales: Elemento filtrante: Filtro de membrana patentado del acero inoxidable Cubierta: Acero inoxidable de Electropolished 316L Interior superficial del final: Ra del μin <=5 Grado del escape del helio: 2 `calificado 10-10 atmósfera-cc/sec. Probado 1 `10-9 atmósfera-cc/sec. Limpieza rio abajo: Partículas: Menos de 0.03 partículas/litro (partícula <1/pie3) mayor de 0.01 μm Volátiles: μm =0.003 Condiciones de funcionamiento: Presión de entrada máxima: barra 165 (2357 PSI) en 20°C Presión diferenciada delantera/del revés máxima: barra 140 (PSID 2000) Temperatura de funcionamiento máximo: 460°C en la barra 35 (500 PSI)