Grupo de desgasificación LiquidLens™ LLD2
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Descripción
LiquidLens™ Sistema de desgasificación LLD2 UPW
Desgasificación UPW para escáneres de litografía por inmersión
El sistema LiquidLens LLD2 proporciona estabilidad y pureza de la lente líquida al reducir la cantidad de gas disuelto y monitorear la calidad del agua ultrapura
Mantiene continuamente la temperatura y el nivel de presión objetivo de la corriente UPW de salida
Garantiza la seguridad del proceso y de la máquina con alarmas de seguridad y sensores de fugas
Proporciona monitoreo en tiempo real de parámetros críticos en la herramienta y en el sistema de monitoreo central del cliente.
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* Los precios no incluyen impuestos, gastos de entrega ni derechos de exportación. Tampoco incluyen gastos de instalación o de puesta en marcha. Los precios se dan a título indicativo y pueden cambiar en función del país, del coste de las materias primas y de los tipos de cambio.