Sistemas de purificación de gas GateKeeper
Las series de medios GPS (HX, DX y Z2) entregan un conjunto de gases purificados en los niveles de partes por trillón (ppt) a un bajo costo de propiedad
Caudales máximos que van desde 311 SLM hasta 932 SLM
Las aplicaciones incluyen herramientas de litografía por inmersión, producción de semiconductores y LEDs
Los purificadores se autorregeneran automáticamente, garantizando un flujo continuo de gas puro
El diseño compacto utiliza un espacio mínimo en el suelo para garantizar el ahorro de costes de las instalaciones
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