Soporte antivibratorio amortiguador de vibraciones activo QuiET

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UNA NUEVA SOLUCÌON PARA EL AISLAMIENTO DE VIBRACIONES El Sistema de Aislamiento Activo QuiET es un nuevo módulo que cancela las vibraciones tanto de la plataforma como del suelo en 6 Grados de Libertad (6 GL), evitando que perturben el proceso que tiene lugar encima de su plataforma de movimiento. Sistema de aislamiento activo QuiET La mayoría de las veces, las aplicaciones de alta gama en la industria del semiconductor incorporan configuraciones de equipos complejos que, de un modo u otro, están conectados al granito de la plataforma de movimiento. Por definición, cualquier vibración en el lado del granito se traduce en imprecisiones y tiempos de fijación de posición más largos en el lado de la herramienta del proceso. Gracias a la solución de ETEL, librarse de esas vibraciones ¡nunca se ha hecho con tanta eficacia! LlEVANDO LAS PRESTACIONES DE MOVIMIENTO AL SIGUIENTE NIVEL Gracias a su exclusivo sensor de bajo ruido y a su homogénea, totalmente digital y determinística arquitectura de control de movimiento basada en TransnET 1 Gb, ETEL reduce el movimiento y tiempo de fijación de posición a valores sin precedentes. Con una precisión de prealimentación de aceleración alcanzando más del 99%, ¡menos del 1% de la energía generada por el movimiento de la plataforma permanece en el lado del granito! La masa del granito en el sistema de aislamiento activo puede por tanto mantenerse pequeña, lo que a su vez reduce el tamaño y masa total, mientras que los útiles de proceso se benefician directamente de un entorno con menor vibración.