Sistema de posicionamiento arquitectura apilada VULCANO2

2-3 ejestipo puentepara inspección de obleas y metrología

VULCANO2 es nuestra arquitectura de pórtico de ejes apilados que combina nuestros renombrados motores con núcleo de hierro, cojinetes mecánicos y codificadores ópticos de alta gama para ofrecer un gran rendimiento geométrico con una alta dinámica. En comparación con nuestra familia CHARON2 apilada, VULCANO2 ofrece principalmente un mayor ciclo de trabajo y capacidad de carga útil. Su tamaño compacto maximiza la rentabilidad sin comprometer el rendimiento ni los ciclos de trabajo. Ya sea estándar o personalizada, la VULCANO2 garantiza una repetibilidad y precisión constantes, incluso durante un funcionamiento prolongado. Esta plataforma es ideal para aplicaciones que requieren precisión, como la metrología de superposición y los procesos de flip-chip en placas de gran tamaño. Características Hasta 6 grados de libertad Suministro de vacío incorporado y cables de señal del cliente a nivel del mandril Estas son las principales características Estabilidad de posición nanométrica Garantiza una precisión de posicionamiento exacta durante periodos prolongados. Compatibilidad con salas limpias ISO 2 Adecuado para entornos controlados con estrictos requisitos de limpieza. Corrección Tip-Tilt con el módulo combinado Z3TM Permite un ajuste preciso para un posicionamiento óptimo. Función Z gruesa con el módulo combinado Z3TM Mecanismo de elevación eléctrico adicional de 12 mm para permitir la carga y descarga de obleas. Suministro de vacío incorporado a nivel del mandril Facilita un funcionamiento eficaz garantizando una manipulación adecuada del material. Tiempos de movimiento y asentamiento cortos Respuesta y estabilización rápidas para mejorar la productividad.