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Sistema de posicionamiento módulos combinados ZT
3 ejesXYvertical

Sistema de posicionamiento módulos combinados - ZT - ETEL S.A. - 3 ejes / XY / vertical
Sistema de posicionamiento módulos combinados - ZT - ETEL S.A. - 3 ejes / XY / vertical
Sistema de posicionamiento módulos combinados - ZT - ETEL S.A. - 3 ejes / XY / vertical - imagen - 2
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Características

Número de ejes
3 ejes, XY
Estructura
vertical
Aplicaciones
para inspección de obleas y metrología, para sala blanca
Otras características
compacto, módulos combinados
Repetibilidad

0,25 µm, 0,3 µm, 1 µm, 2 µm

Carga

1 kg
(2,2 lb)

Carrera

4 mm, 12 mm
(0,16 in, 0,47 in)

Velocidad

0,02 m/s, 0,1 m/s
(0,07 ft/s, 0,33 ft/s)

Descripción

La caja ZT es un módulo con dos grados de libertad, en Z y Theta, en una sola unidad. Hay dos actuaciones posibles sobre la dirección Z, una amplia y una fina. Se puede utilizar de forma separada o montada sobre una plataforma XY. Este módulo es especialmente apropiado para aplicaciones de control de proceso de obleas tales como metrología de capa fina, dimensiones críticas, etc. Características - Giro infinito - Suministro de vacío integrado a nivel de mordaza - Compensador de gravedad integrado - Compatible con salas limpias ISO1 gracias a succión por vacío - Eje Z con amplio recorrido de 12 mm para carga/descarga y recorrido fino de 4 mm para ajuste de foco - Versión sin Z amplio posible - Muy buen jitter Z, así como desplazamiento y fijación de posición Principales prestaciones - Precisión en posición: ±0,6 µm para Z y ±30 arcsec para T - Velocidad hasta: 0,1 m/s para Z y 15,7 rad/s para T - Aceleración hasta: 0,2 g para Z y 104,7 rad/s² para T - Estabilidad en posición: ±5 nm para Z y ±0,2 arcsec para T

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