Eje lineal de precisión TBS

con servomotorde husillo de bolasde alta eficacia

El TBS es un eje lineal de alta precisión con 1 grado de libertad. Se trata de un eje lineal de accionamiento indirecto basado en rodamientos mecánicos que ofrece un rendimiento excepcional en términos de exactitud y precisión en su categoría. El eje está controlado por un servomotor de alto rendimiento y bajo coeficiente de desgaste y utiliza un esquema de control de retroalimentación de doble encoder que, además de proporcionar un excelente rendimiento, simplifica su puesta en marcha. Como complemento al avanzado control indirecto del accionamiento, servido en su corazón por las tecnologías de encoder del Grupo HEIDENHAIN, el eje presenta unas características mecánicas inigualables en todo su recorrido para macro y micro movimientos. Este eje también incluye características y opciones de diseño específicas, como el desacoplamiento térmico de las fuentes de calor, la alta rigidez y topes microméticos, que lo hacen especialmente interesante para las aplicaciones que requieren estabilidad y seguridad del proceso. Centrado en facilitar las aplicaciones de semiconductores, el eje sigue respondiendo a todos los diversos mercados y necesidades que requieren soluciones de alta precisión, alta limpieza, alta estabilidad y alta exactitud. El uso de este módulo es adecuado para, pero no limitado a: Aplicaciones de control de procesos de obleas, como la metrología de superposición, la dimensión crítica y la metrología de películas finas, así como la fotónica.