Manómetro de vacío capacitivo con membrana CDG025D

con sensor cerámicodigital

CDG025D La línea de manómetros de diafragma de capacitancia INFICON SKY CDG025D de manómetros de temperatura compensada de alta precisión está diseñada para un rendimiento estable en entornos de herramientas de fabricación difíciles. La electrónica digital avanzada mejora el rendimiento del medidor y ofrece características de fácil manejo, como la función de puesta a cero con un solo botón y el ajuste del punto de ajuste. El sensor de cerámica resistente a la corrosión proporciona una excelente estabilidad cero con una larga esperanza de vida de varios millones de ciclos de presión, incluyendo explosiones atmosféricas. Un exclusivo blindaje del sensor (patente en trámite) protege el medidor de la contaminación del proceso. Un diseño mecánico robusto y la electrónica digital mejoran la compatibilidad EMC, la estabilidad a largo plazo y la compensación de temperatura. El CDG025D establece nuevos estándares para una rápida estabilidad después del encendido y una rápida recuperación de la exposición a la presión atmosférica. Beneficios La escala completa va desde 100 mTorr ... 1000 Torr Estabilidad rápida después del encendido Rápida recuperación de la presión atmosférica Sensor cerámico resistente a la corrosión Excelente estabilidad de la señal a largo plazo La temperatura compensada El sensor está protegido de la contaminación Un botón de función cero Fuente de alimentación de amplio rango Aplicaciones típicas Equipo de fabricación de semiconductores para Etch, CVD, PVD, ALD Equipo de fabricación de almacenamiento y visualización de datos Equipo de vacío industrial Medición general de alta precisión de la presión