UL1000 Fab
Detector de fugas de helio seco UL1000 Fab
Una nueva dimensión en estabilidad y capacidad de respuesta en fugas hasta 10 -12 atm/css. El INFICON UL1000 Fab Mobile Helium
El Detector de Fugas está diseñado específicamente para cumplir con los requisitos de las aplicaciones de semiconductores. Por su facilidad de uso, su eficacia en la detección de fugas y su movilidad dentro de las prioridades del sistema del entorno de la fábrica, el UL1000 Fab proporciona una respuesta extremadamente rápida a la tasa de fugas en todos los rangos de medición.
El UL1000 Fab ofrece una estabilidad de la tasa de fuga nunca vista hasta < 5× 10-12 atm cc/s a través de una arquitectura de vacío optimizada que combina una alta velocidad de bombeo de helio y altas presiones de entrada. El software propietario, I-CAL (Intelligent Calculation Algorithm of Leak Rates), le permite olvidarse de los largos tiempos de respuesta en los rangos de fuga bajos, ya que el UL1000 Fab responde rápidamente a todos los rangos de fuga.
Con la adición del accesorio de la Cámara de Pruebas TC1000, el Detector de Fugas de Helio UL1000 Fab proporciona una prueba fácil, rápida y precisa de las partes herméticamente selladas como los paquetes de CI, los cristales de cuarzo y los diodos láser (de acuerdo con la MIL-STD 883, Método 1014).
Características
amplio rango de medición durante 15 décadas
corto tiempo de bombeo y de respuesta
una carcasa móvil totalmente metálica para mayor comodidad con una maniobrabilidad sin compromisos
I-CAL para asegurar un tiempo de respuesta más rápido a las fugas en todos los rangos de medición
función de cero con alineación automática del tiempo de integración para obtener resultados de prueba rápidos y fiables
diseño de vacío inteligente con una bomba de desplazamiento resistente y una bomba turbomolecular de entrada múltiple que proporciona una alta velocidad de bombeo de helio con una alta compresión
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