BAG402
Medidor de vacío medio a ultra alto
El medidor de iones calientes Bayard-Alpert BAG402 de INFICON cubre un amplio rango de medición desde 5×10-10 mbar hasta 2,7×10-2 mbar (3,75×10-10 Torr a 5×10-2 Torr). Elija el INFICON BAG402 para un proceso asequible y repetible para basar las mediciones de presión en un paquete compacto de manómetros activos. Los filamentos duales únicos y compatibles ofrecen una precisión superior, estabilidad a largo plazo y longevidad.
Beneficios
El rango de medición va de 5×10-10 mbar a 2,7×10-2 mbar (3,75×10-10 Torr a 5×10-2 Torr)
Excelente repetibilidad en el rango de presión de proceso de 10-8 ... 10-2 mbar del 5%
La detección de sobrepresión protege el filamento del quemado prematuro
Dos filamentos de iridio de larga duración recubiertos de óxido de itrio
La selección automática de la corriente de emisión reduce la complejidad del control
La facilidad de intercambio de los elementos de detección con los datos de calibración a bordo garantiza una alta reproducibilidad
Cumplimiento de la RoHS
Aplicaciones típicas
Medición de la presión en las cámaras de proceso y transferencia de semiconductores
Recubrimiento industrial
Medición y control general del vacío en el rango de vacío bajo a ultra alto
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