El EVG®120 es un sistema de procesamiento de resistencias compacto y económico para iniciar la producción cuando el espacio de la sala limpia es limitado.
La nueva herramienta universal y totalmente automatizada EVG120 es capaz de procesar diferentes formas y tamaños de sustrato de hasta 200 mm/8". Esta nueva generación de la EVG120 viene en un nuevo diseño ultracompacto con un gabinete químico de nuevo desarrollo para el almacenamiento externo de productos químicos, a la vez que proporciona una mayor capacidad de rendimiento, optimizado para las necesidades de los clientes de alto volumen y listo para su utilización en la fabricación de alto volumen (HVM). El EVG120 ofrece a los usuarios una serie de ventajas que simplemente no se encuentran en ninguna otra herramienta y garantiza los más altos estándares de calidad en varios campos de aplicación a un coste de propiedad notablemente bajo.
Características
Tamaños de obleas de hasta 200 mm
Diseño ultracompacto para un tamaño mínimo
Hasta 2 cámaras de capa/desarrollo y 10 placas de calor/frío
Las versátiles combinaciones de módulos multifuncionales para el revestimiento por pulverización y centrifugado, el desarrollo, el horneado y el enfriado ofrecen grandes oportunidades en muchos campos de aplicación
Armario de química para el almacenamiento externo de productos químicos
La tecnología patentada de atomización ultrasónica OmniSpray® de EV Group proporciona resultados de proceso inigualables cuando se trata del recubrimiento conformado de topografías extremas
Cubierta giratoria CoverSpinTM para un bajo consumo de resistencia y una uniformidad de revestimiento de resistencia optimizada
La tecnología Megasonic para la limpieza, el procesamiento sonoquímico y el desarrollo mejora la eficiencia del proceso y reduce el tiempo de proceso de horas a minutos
La sofisticada y probada manipulación de robots con capacidad de doble efector final garantiza un alto rendimiento continuo
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