Sistema de limpieza manual EVG®301

para la industria química

El sistema semiautomático de limpieza de obleas simples EVG301 emplea una estación de limpieza, que limpia las obleas utilizando enjuague con agua desionizada estándar, así como megasónicos, cepillos y productos químicos diluidos como opciones de limpieza adicionales. Con carga manual y prealineación, el EVG301 es un sistema versátil de tipo R&D para procedimientos de limpieza flexibles y una capacidad de 300 mm. El sistema EVG301 puede combinarse con los sistemas de alineación y adhesión de obleas de EVG para eliminar cualquier partícula antes de la adhesión de obleas. Los mandriles giratorios están disponibles para diferentes tamaños de obleas y sustratos para permitir una fácil configuración para diferentes procesos. Características Limpieza de alta eficiencia utilizando boquillas megasónicas de 1 MHz o transductores de área (opcional) Cepillado para la limpieza de un solo lado (opcional) Productos químicos diluidos para la limpieza de obleas Previene la contaminación cruzada de atrás hacia adelante Proceso de limpieza totalmente controlado por software Opciones Estación de preencolado con inspección IR Herramientas para sustratos estándar no SEMI Datos técnicos Diámetro de la oblea (tamaño del sustrato) 200, 100 - 300 mm Sistema de limpieza Cámara abierta, hilandero y brazo de limpieza Cámara: de PP o PFA (opcional) Medios de limpieza: DI-agua (estándar), otros medios de limpieza (opcional) Mandril giratorio: mandril de vacío (estándar) y mandril de manipulación de cantos (opcional) fabricado con materiales limpios y libres de iones metálicos Rotación: hasta 3000 rpm (en 5 seg.)