Línea de tratamiento para la industria alimentaria EVG®150

para obleas

El EVG®150 es un sistema de procesamiento de resistencias totalmente automatizado que proporciona un alto rendimiento y soporta obleas de hasta 300 mm de diámetro. Diseñado como una plataforma totalmente modular, el EVG150 permite procesos automatizados de pulverización/girado/desarrollo y un alto rendimiento. La EVG150 garantiza una alta uniformidad de las capas y una mejor repetibilidad. Las obleas con alta topografía pueden ser recubiertas uniformemente con la tecnología OmniSpray de EVG, donde el spin coating tradicional encuentra limitaciones. Características Tamaños de obleas de hasta 300 mm Hasta seis módulos de proceso Número personalizable - hasta veinte pilas de cebos para hornear/enfriar/vapor Hasta cuatro puertos de carga FOUP o carga de casetes Los módulos disponibles incluyen Spin Coat, Spray Coat, NanoCoat™, Develop, Bake/Chill/Vapor/Prime La tecnología patentada de atomización ultrasónica OmniSpray® de EV Group proporciona resultados de proceso inigualables cuando se trata del recubrimiento conformado de topografías extremas El módulo opcional NanoSpray™ logra un recubrimiento conformado de patrones de 300 micras de profundidad con relaciones de aspecto de hasta 1:10 y paredes laterales verticales Amplia gama de materiales soportados Módulos de cocción hasta 250 °C La tecnología Megasonic para la limpieza, el procesamiento sonoquímico y el desarrollo mejora la eficiencia del proceso y reduce el tiempo de proceso de horas a minutos La sofisticada y probada manipulación de robots con capacidad de doble efector final garantiza un alto rendimiento continuo