Cocedor industrial EVG®105

El módulo de cocción autónomo EVG®105 está diseñado para procesos de cocción suaves o posteriores a la exposición. El módulo de horneado EVG105 permite realizar procesos de horneado suave, postexposición y horneado duro. El ambiente de cocción controlado asegura una evaporación uniforme. Los pines de proximidad programables proporcionan el mejor control disponible de los procesos de endurecimiento de la resistencia y de los perfiles de temperatura. El módulo de cocción EVG105 puede procesar hasta 300 mm de tamaño de obleas o hasta cuatro obleas de 100 mm al mismo tiempo. Características Módulo de cocción autónomo Hasta 300 mm de tamaño de oblea o hasta cuatro obleas de 100 mm al mismo tiempo Uniformidad de temperatura ≤ ± 1 °C @ 100 °C, hasta 250 °C de temperatura de cocción Pernos de carga para la carga/descarga manual y segura de obleas Temporizador para hornear Sustrato al vacío (horneado por contacto directo) Purgado de N2 y horneado de proximidad: oblea de distancia de 0-1 mm hasta la placa calefactora opcional Sustratos de forma irregular Datos técnicos Diámetro de la oblea (tamaño del sustrato) Hasta 300 mm Placa de cocción Rango de temperatura: ≤ 250 °C Ajuste manual de los pernos de elevación a la distancia de proximidad deseada