Sistema de litografía UV-NIL EVG®7300

La nueva solución multifuncional de micro y nanoimpresión de EV Group ofrece una flexibilidad sin precedentes para la fabricación de dispositivos ópticos de gran volumen EVG®7300 es la solución más avanzada de EVG para combinar múltiples procesos basados en UV, como la litografía de nanoimpresión (NIL), el moldeo de lentes y el apilado de lentes (unión UV), en una sola plataforma El sistema de nanoimpresión y óptica a nivel de oblea EVG®7300 SmartNIL® es una solución versátil y avanzada que combina múltiples capacidades de procesos basados en UV en una sola plataforma. EV Group (EVG), proveedor líder de equipos de litografía y pegado de obleas para los mercados de MEMS, nanotecnología y semiconductores, ha presentado hoy el sistema automatizado de nanoimpresión y óptica a nivel de oblea EVG®7300. El EVG7300 es la solución más avanzada de la empresa para combinar múltiples capacidades de proceso basadas en la luz ultravioleta, como la litografía de nanoimpresión (NIL), el moldeo de lentes y el apilamiento de lentes (unión UV), en una sola plataforma. Este sistema multifuncional, preparado para la industria, está diseñado para satisfacer las necesidades avanzadas de I+D y producción de una amplia gama de aplicaciones emergentes que implican el micro y nano-moldeo, así como el apilamiento de capas funcionales. Entre ellas se encuentran la óptica a nivel de oblea (WLO), los sensores y proyectores ópticos, la iluminación para automóviles, las guías de ondas para auriculares de realidad aumentada, los dispositivos biomédicos, las metrolentes y las metasuperficies, y la optoelectrónica. La EVG7300, que admite tamaños de oblea de hasta 300 mm y cuenta con una alineación de alta precisión, un control de procesos avanzado y un alto rendimiento, satisface las necesidades de fabricación de grandes volúmenes de una gran variedad de componentes y dispositivos nano y microópticos de forma libre y alta precisión.