Sistema de almacenamiento y manipulación automático EUV

Estos sistemas de manipulación de partículas EUV de Fabmatics cumplen requisitos como la fiabilidad y la limpieza en la manipulación de partículas EUV. Como tecnología de iluminación especial utilizada para fabricar elementos de construcción microelectrónica de alta gama, la tecnología EUV establece los estándares más altos de fiabilidad y limpieza en la manipulación de retículas EUV. Las soluciones de Fabmatics cumplen estas normas. Los sistemas de manipulación de retículas EUV están disponibles como dispositivos independientes, por ejemplo, como clasificadores de retículas, y como módulos frontales de equipos, por ejemplo, como sistemas de carga. Un puerto de carga Fabmatics para vainas RSP y vainas dobles, una amplia gama de módulos de detección, pinzas y equipos de volteo son componentes importantes en este caso.