Sistema de medición para oblea SiPh

microscopio

El Asistente de Medición Autónomo de Fotónica de Silicio de FormFactor establece el estándar de la industria en el sondeo de fotónica de silicio a nivel de oblea y matriz. Esta solución altamente flexible proporciona una multitud de tecnologías de prueba, desde fibras individuales hasta matrices y desde el acoplamiento vertical hasta el acoplamiento en el borde. Con el nuevo y revolucionario OptoVue para calibraciones avanzadas, los algoritmos inteligentes de visión artificial y el exclusivo SiPh TopHat para entornos oscuros, protegidos y libres de heladas, el sistema permite la calibración y recalibración autónoma a múltiples temperaturas. De este modo, es posible realizar mediciones más rápidas y precisas y reducir el coste de las pruebas. El uso de fibras ópticas individuales y matrices de fibras como sondas para acoplar la luz dentro y fuera de una oblea, tanto para el acoplamiento de superficie como de borde, crea muchos desafíos que FormFactor gestiona a través de su tecnología Contact Intelligence. A diferencia de las pruebas eléctricas, las pruebas ópticas utilizan fibras y matrices de fibras que no entran en contacto con sus correspondientes "almohadillas" conocidas como acopladores de rejilla o facetas en la superficie y el borde de la oblea, respectivamente. En su lugar, las fibras deben articularse en relación con los acopladores y las facetas para encontrar la posición de máxima transferencia de potencia óptica. El establecimiento de la posición inicial de las puntas de las fibras o de los conjuntos de fibras en relación con las rejillas y las facetas y la posterior optimización de su posición se lleva a cabo mediante técnicas automatizadas exclusivas desarrolladas por los ingenieros de FormFactor. Utilizando el procesamiento avanzado de imágenes y algoritmos especialmente desarrollados, se puede realizar el ajuste de la altura Z, la separación entre fibras y facetas, así como un conjunto de calibraciones automatizadas de la solución de posicionamiento a la estación de sondeo.