Sistema de medición 3D MicroProf® FE
para oblea

sistema de medición 3D
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Características

Tecnología
3D
Objeto de la medición
para oblea

Descripción

El FRT MicroProf® FE es la herramienta de metrología de obleas 2D/3D estándar de FormFactor, totalmente automatizada. Combina las capacidades del ya establecido MicroProf 300 con un sistema de manipulación de obleas dentro de un Módulo de Extremo Frontal del Equipo (EFEM). Con soluciones de metrología totalmente compatibles con SEMI y componentes de hardware casi libres de mantenimiento, proporcionando una inspección de alto rendimiento, el MicroProf FE es la solución de metrología en cualquier fábrica de HVM frontal. Además de la configuración estándar, el FRT MicroProf FE puede equiparse con numerosas funciones adicionales, que también se pueden adaptar posteriormente.

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