Sistema de medición para oblea MicroProf® FS

El FRT MicroProf® FS es una herramienta de metrología de obleas totalmente automatizada, configurable para una amplia gama de aplicaciones en la fundición de obleas, utilizando tanto soluciones estándar como personalizadas. La flexibilidad y la versatilidad son palabras clave cuando se trata de soluciones de metrología para las aplicaciones actuales de fundición de silicio. MicroProf FS ofrece un enfoque modular para crear una herramienta multisensor totalmente automatizada que puede resolver todas las tareas de medición necesarias. Por eso la llamamos la estrella de la fundición Para su componente de metrología principal, se utiliza la herramienta de metrología multisensor FRT MicroProf 300, de eficacia probada, que permite la medición de diferentes productos y, mediante un concepto de metrología híbrida, mejora la precisión de las mediciones en muestras en las que un solo sensor o principio de medición no es suficiente. El sistema de medición del MicroProf FS está equipado con una configuración de base de granito, con una fijación de muestra de tres puntos o un mandril de vacío.