Sistema de medición de espesor MicroProf® 100
ópticopara obleacompacto

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Características

Magnitud física
de espesor
Tecnología
óptico
Objeto de la medición
para oblea
Otras características
compacto

Descripción

El FRT MicroProf® 100 es la herramienta universal de metrología de superficies para la determinación rápida y sencilla de la topografía, el espesor de la película y el grosor de la muestra. Como unidad compacta de sobremesa, y por tanto el miembro más pequeño de la familia de multisensores MicroProf, el MicroProf 100 ofrece toda la flexibilidad de sus hermanos mayores. Se basa en nuestra probada tecnología SurfaceSens, en la que diferentes métodos de medición óptica -que de otro modo sólo pueden encontrarse en soluciones individuales- se fusionan en un dispositivo universal que ahorra espacio. Además, el FRT MicroProf 100 puede equiparse con la opción TTV para la inspección de muestras a doble cara. Esto permite medir la parte superior e inferior de la muestra simultáneamente y determinar el grosor de la muestra durante el mismo proceso de medición. Gracias a su diseño modular, esta herramienta de metrología puede adaptarse a su aplicación específica. Además de los distintos sensores que pueden añadirse, el software también puede configurarse individualmente, y las tareas de medición pueden realizarse de forma manual o automática.

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