FUD-1 Model-12 (semi. /LCD) sigue siendo las mismas ventajas que Model-12.It también ofrece un tipo sensor de la célula para las producciones del semiconductor/LCD. El tipo sensor de la célula es muy pequeño, y el material es PFA a aplicarse al requisito de producciones del semiconductor/LCD.
Pequeño tipo transductor de la célula
Ninguna contaminación [material: PFA]
Ningún reemplazo periódico requirió
Ventajas
Alta exactitud y estabilidad
Casi meintenance de la tarifa
Instalación fácil
Operación fácil
Appiactions
Hidroperóxido en mezcla del CMP
Control del dilución para H2O2, TMAH, el HNO3, H2SO4, el ácido clorhídrico, el etc.
Supervisión de la concentración del HF, de NH4OH, de la KOH, de IPA, del etc.
Supervisión de la tarifa del grabado de pistas del HF, de H2SO4, del etc.
Principio
La velocidad ultrasónica en un líquido es determinada por la concentración y las medidas temperature.FUD-1 la velocidad y el tempearture exactamente, y los calcurates la concentración del líquido de la velocidad y el tempearture con la curva de calibración almacenada en la ROM de los datos.
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