Materiales para la obtención de imágenes positivas en seco y por inmersión, y para el desarrollo de tonos negativos (NTD)
Amplia gama de sistemas de formación de imágenes de alta resolución para exposición a 193 nm, incluida la formación de imágenes positivas en seco y por inmersión y el desarrollo de tonos negativos (NTD)
- Alto rendimiento
- Resolución superior
- Amplias ventanas de proceso
- Bajos niveles de defectos
- Perfiles verticales
- Serie GAR
Los productos de la serie GAR son adecuados para trabajar con una amplia gama de aplicaciones que requieren exposición en seco a 193 nm
- Serie FAiRS para PTD
Los productos de la serie FAiRS son adecuados para trabajar con una amplia gama de aplicaciones que requieren una exposición de inmersión de 193 nm y un desarrollo de tono positivo
- Serie FAiRS para NTD
Los productos de la serie FAiRS son adecuados para trabajar con una amplia gama de aplicaciones que requieren exposición por inmersión a 193 nm y desarrollo de tonos negativos
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