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- Fujifilm NDT Systems
Resina para semiconductores KrFde alta resistenciafotosensiblede alta estabilidad térmica
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Características
- Aplicaciones
- para semiconductores
- Otras características
- de alta resistencia, fotosensible, de alta estabilidad térmica
Descripción
La serie GKR son sistemas fotorresistentes KrF de tono positivo que cubren una amplia gama de aplicaciones.
- Materiales no PFOS/PFAS
- Aplicación de alta relación de aspecto
- Resistencia superior al grabado por plasma y a la implantación de iones
- Amplias ventanas de proceso
- Bajos niveles de defectos
- Estabilidad a largo plazo
- Perfiles verticales
- Amplia cobertura de espesores
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Catálogos
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