Módulo de detección de pirólisis Py-ReX

de gaselectroquímico

El módulo pirolizador Py-ReX es un complemento para el detector de gases PoS D-ReX, que utiliza su bomba integrada para la detección de gases extractivos. Cuando se utiliza en combinación con el Py-ReX, el D-ReX es capaz de detectar gases que son demasiado tóxicos o demasiado inactivos químicamente para ser medidos directamente. Detección de gases mediante un pirolizador El uso de un pirólizador amplía las posibilidades de detección de gases en la fabricación de semiconductores y facilita el cumplimiento de estrictas normas de calidad, así como la optimización de los procesos de fabricación. Para cualquier proceso que requiera la medición de gases que son demasiado tóxicos o demasiado electroquímicamente inactivos para ser medidos directamente, un pirolizador es esencial. Basándose en las capacidades del D-ReX PoS, el Py-ReX se desarrolló para detectar dichos gases en modo de extracción. Se monta entre el punto de muestreo y el detector de gas. El gas que se necesita medir se conduce a través del pirólizador mediante una bomba, antes de llegar al sensor del interior del D-ReX, donde se mide, una vez completada la pirólisis. ¿Cómo funciona la pirólisis? Un pirólizador disuelve el gas original (gas objetivo) en otro que puede medirse (gas medido). Este paso es necesario para medir algunos gases, ya que sin él no pueden detectarse. La concentración del gas medido puede utilizarse para calcular la concentración del gas objetivo. El Py-ReX es un pirolizador de filamento. Un filamento en un tubo de vidrio de cuarzo se calienta a una temperatura específica que se ajusta con precisión al gas objetivo. Al entrar en contacto con el filamento, el gas objetivo se descompone en el gas medido y puede ser detectado por el sensor electroquímico inteligente del detector de gas.