Sistema de medición de la reflectancia C11295

de luzde espesoróptico

El sistema de medición de espesor Multipoint NanoGauge C11295 es un sistema de medición de espesor de películas que utiliza la interferometría espectral. Está diseñado para medir el grosor de las películas como parte del proceso de fabricación de semiconductores, así como para el control de calidad de los APC y las películas que se montan en los equipos de fabricación de semiconductores. Permite la medición multicanal en tiempo real, lo que proporciona una medición multicanal simultánea y una medición multipunto en las superficies de las películas. Al mismo tiempo, también puede medir la reflectividad (transmitancia), el color del objeto y sus cambios en el tiempo. Características - Medición simultánea del espesor de la película hasta en 15 puntos - Funcionamiento sin referencia - Medición estable a largo plazo mediante la corrección de la fluctuación de la intensidad de la luz - Función de alarma y advertencia (pasa/no pasa) - Mediciones de reflectancia (transmitancia) y espectro - Alta velocidad y gran precisión - Medición en tiempo real - Medición precisa de la película fluctuante - Análisis de las constantes ópticas (n, k) - Control externo disponible Especificaciones Número de tipo : C11295-XX*1 Rango de espesor de película medible (vidrio) : 20 nm a 100 μm*2 Reproducibilidad de la medición (vidrio) : 0,02 nm*3 *4 Precisión de la medición (vidrio) : ±0,4 %*4 *5 Fuente de luz : Fuente de luz de xenón *6 Longitud de onda de medición : 320 nm a 1000 nm Tamaño del punto : Aproximadamente φ1 mm*4 Distancia de trabajo : 10 mm*4 Número de capas medibles : Max. 10 capas Análisis : Análisis FFT, Análisis de ajuste Tiempo de medición : 19 ms/punto*7 Forma del conector de fibra : SMA Número de puntos de medición : 2 a 15 Función de control externo : Ethernet Interfaz : USB 2.0 (Unidad principal - Ordenador) RS-232C (Fuente de luz - Ordenador) Fuente de alimentación : AC100 V a AC240 V, 50 Hz/60 Hz