Sistema de medición óptico C12562-04

de espesorcon calibrepara films

El sistema de medición de espesores Optical NanoGauge C12562 es un sistema de medición de espesores de películas sin contacto, compacto y que ocupa poco espacio, diseñado para instalarse fácilmente en los equipos donde se necesita. En la industria de los semiconductores, la medición del grosor del silicio es esencial debido a la difusión de la tecnología de las vías de silicio pasantes; y en la industria de producción de películas, los films de las capas de adherencia se hacen cada vez más finos para cumplir las especificaciones del producto. Por ello, estas industrias requieren ahora una precisión aún mayor en las mediciones de espesor que van desde 1 μm hasta 300 μm. El C12562 permite realizar mediciones precisas en un amplio rango de espesores, desde 500 nm hasta 300 μm, que incluyen el espesor de la capa de adherencia y del sustrato de la película, así como el espesor total. El C12562 también ofrece mediciones rápidas de hasta 100 Hz, lo que lo hace ideal para mediciones en líneas de producción de alta velocidad. Características - Realiza mediciones que van desde el espesor de la película fina hasta el espesor total - Reducción del tiempo de ciclo (máx. 100 Hz) - Disparos externos mejorados (se adapta a la medición de alta velocidad) - Se añade al software una medición simplificada - Capacidad de análisis de superficies - Medición precisa de la película fluctuante - Análisis de las constantes ópticas (n, k) - Control externo disponible Especificaciones Número de tipo : C12562-04 Rango de espesor de película medible (vidrio) : 500 nm a 300 μm*1 Reproducibilidad de la medición (vidrio) : 0,02 nm*2 *3 Precisión de la medición (vidrio) : ±0,4 %*3 *4 Fuente de luz : Fuente de luz halógena Tamaño del punto: Aproximadamente φ1 mm*3 Distancia de trabajo : 10 mm*3 Número de capas medibles : Max. 10 capas Análisis : Análisis FFT, Análisis de ajuste, Análisis de la constante óptica Tiempo de medición : 3 ms/punto*5 Forma del conector de fibra : FC