MiNY PL es un sistema de inspección de obleas de micro LED que utiliza el método de medición de fotoluminiscencia (PL).
- Nombre del modelo : C15740-01
- Tamaño de oblea admitido : 100 mm (4 pulgadas) o 150 mm (6 pulgadas) (otros tamaños negociables)
- Tiempo de medición :
- Aprox. 12 minutos
- (Lente objetivo 10×, medición PL, obleas de 4 pulgadas)
- Longitud de onda de medición PL : R, G, B
- Resolución espacial : 1 μm/píxel (modo estándar), 0,5 μm/píxel (modo de alta resolución)
- Elementos de medición: anomalía de forma, intensidad de PL, anomalía de longitud de onda de PL
- Dimensiones externas / peso : 2000 mm (ancho) × 1878 mm (alto) × 1130 mm (profundidad) / Aprox. 1800 kg
- Sala blanca : Compatible
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