Máquina de deposición PE-CVD FALO

de película finapara aplicaciones fotovoltaicas

Es adecuado para el crecimiento de alúmina densa y otros materiales de película de pasivación posterior en el proceso de batería perc de silicio cristalino de alta eficiencia. Cambio continuo entre varias películas; Soporta el mecanismo de empuje del bote en ambos extremos para eliminar las fluctuaciones, mejorar la velocidad, aumentar la carga y mejorar enormemente la fiabilidad (patente). El tiempo de entrada y salida del bote no será superior a 20 segundos (excluyendo la toma y suelta del bote); Mecanismo de doble puerta del horno de forma especial para reducir la pérdida de calor (estructura de doble puerta del horno patentada); Tecnología de electrodo de barco de grafito: contacto superficial de electrodo eléctrico, se complementan los electrodos delantero y trasero, y el electrodo de cola es ajustable fuera del tubo del horno; Cuerpo del horno de enfriamiento rápido: se adopta la última tecnología patentada, de modo que la temperatura del cuerpo del horno se puede reducir rápidamente a la temperatura requerida, y la velocidad de enfriamiento se puede aumentar en más de un 25%, mejorando significativamente la uniformidad de la temperatura en el tubo del horno; Modo patentado de disipación paralela del calor de la posición de almacenamiento del barco: mejora el efecto de enfriamiento, acorta el tiempo de enfriamiento en más de un 15%, evita el fondo y la entrada de aire por la parte delantera de la consola para mejorar la limpieza interna de la consola; Herramienta auxiliar de elevación del tubo de cuarzo, que reduce en gran medida la dificultad de instalación, mantenimiento y sustitución del tubo de cuarzo; La compacidad de la película es superior a la del plasma indirecto; Tiene mejor efecto de pasivación que ALD.