Máquina de deposición PE-CVD

de capas finas de siliciopara aplicaciones fotovoltaicas

Se deposita en la superficie de la oblea de silicio una capa de película de nitruro de silicio antirreflectante (SixNy) con un espesor de unos 75-140 nm Se deposita una capa de película de nitruro de silicio antirreflectante (SixNy) con un espesor de aproximadamente 75-140nm en la superficie de la oblea de silicio, y la superficie y el interior de la oblea de silicio se pasivan utilizando los iones H+ activos generados durante el proceso de deposición. Además de reducir la reflexión de la luz, también mejora la vida útil del portador minoritario de las obleas de silicio, lo que en última instancia se refleja directamente en la eficiencia de conversión de las células de silicio cristalino, utilizadas principalmente en el crecimiento de películas de nitruro de silicio en la parte delantera y trasera de las células PERC/TOPCon. Parámetros principales Proceso maduro de alta capacidad, tecnología de control de temperatura de modo dual, tecnología de protección del calibre de la película; El mecanismo patentado push-pull soportado en ambos extremos puede eliminar las fluctuaciones, aumentar la velocidad en un 30%, incrementar la capacidad de carga y mejorar enormemente la fiabilidad. El tiempo para entrar y salir del bote no es superior a 20 segundos (sin incluir la recogida y colocación del bote); Cuerpo del horno de enfriamiento rápido: la última tecnología patentada hace que la temperatura del cuerpo del horno baje rápidamente a la temperatura requerida, la velocidad de enfriamiento se incrementa en más de un 25%, lo que puede mejorar la uniformidad de la temperatura en el tubo del horno es evidente; Método patentado de disipación de calor en paralelo de la posición de almacenamiento del barco: mejorar el efecto de enfriamiento, acortar el tiempo de enfriamiento en más de un 15%, y evitar la parte inferior de la entrada de aire desde la parte frontal de la consola para mejorar la limpieza interna de la consola; Tecnología de control de bucle cerrado de presión adaptativa rápida;