Horno de difusión

de cámarade recocidode oxidación

Actualmente se considera que la difusión a baja presión es una forma eficaz de mejorar la eficiencia de conversión de las células solares. Actualmente se considera que la difusión a baja presión es una forma eficaz de mejorar la eficiencia de conversión de las células solares. La difusión a baja presión/recocción por oxidación dispersa mejora el camino libre molecular de la fuente de difusión y resuelve los problemas de profundidad y uniformidad de la difusión; en comparación con la difusión a presión atmosférica, presenta algunas ventajas significativas, como alta productividad, alta resistencia al cuadrado, repetibilidad del proceso, bajo consumo de la fuente, limpio y respetuoso con el medio ambiente, etc. Este equipo se utiliza principalmente para el proceso de dopaje por difusión y recocido de oxidación de obleas de silicio en la fabricación de células solares de silicio cristalino. Características principales Proceso maduro de alta capacidad, sistema de carga y descarga: diseño equilibrado y simétrico para mejorar la estabilidad; Cuerpo del horno de enfriamiento rápido: La última tecnología patentada hace que la temperatura del cuerpo del horno descienda a la temperatura requerida rápidamente, la velocidad de enfriamiento se incrementa en más del 25%, lo que puede mejorar la uniformidad de la temperatura en el tubo del horno obviamente; El gas de escape es recogido por un condensador de alta eficiencia refrigerado por agua para garantizar un funcionamiento estable y fiable de las tuberías, válvulas, filtros y bombas de diafragma y largos periodos de mantenimiento; Diseño estable de la tubería de la fuente antiinterferente para reducir la fluctuación de la resistencia cuadrada causada por la perturbación de los factores ambientales; Sistema MES/CCRM con una arquitectura completa y un rendimiento excepcional.