Máquina de deposición ALD AlOxsolar
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Características
- Método
- ALD
- Aplicaciones
- solar
Descripción
Este equipo aumenta la eficiencia depositando una fina película de Al2O3 sobre la superficie frontal de la oblea de una célula solar cristalina mediante la deposición térmica de capas atómicas (ALD) para formar una capa de pasivación.
Espec
Alto rendimiento: 12.800 obleas/hora (1.600 obleas/barco)
Duración del ciclo: 30 min
Tiempo de actividad: 97
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