Esta máquina está diseñada para dopar fósforo y boro para formar la "unión p-n", un componente crítico de las células solares de silicio cristalino.
Espec
POCl₃
Alto rendimiento: 7.854 obleas/hora (2.400 obleas/barco)
Duración del ciclo: 110 min
Tiempo de actividad: 99
BBr₃
Alto rendimiento: 3.600 obleas/h (2.400 obleas/barco)
Duración del ciclo: 240 min
Tiempo de actividad: 99
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