Horno de tipo armario LPde oxidación
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Características
- Configuración
- de tipo armario
- Función
- de oxidación
Descripción
Esta máquina está diseñada para mejorar la eficiencia de la célula mediante la aplicación de una capa de pasivación en la cara frontal de la oblea de silicio tras el aislamiento de bordes y la eliminación de PSG.
Especificaciones
Alto rendimiento: 14.400 obleas/hora (2.400 obleas/barco)
Duración del ciclo: 60 minutos
Tiempo de actividad: 99
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