Al ser el sistema de logística limpia para semiconductores, se trata de un sistema de elevación y almacenamiento automático que transfiere las obleas FOUP&FOSB a cada planta.
Especificaciones
Carrera de elevación: Max 60m
Velocidad de elevación: 360m/min
Tiempo de carga de la horquilla: Dentro de 3sec
Acc/Dec: 2m/seg²
Vibración: No superior a RMS 0.8G
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