Espectrómetro de masas de iones secundarias SIMS Workstation

para análisismóvilde alta sensibilidad

Un sistema de análisis de superficies UHV para el perfilado en profundidad de películas finas Hiden Analytical proporciona instrumentación de alta sensibilidad extremadamente versátil para análisis SIMS (espectrometría de masas de iones secundarios) dinámicos y estáticos de alto rendimiento, que permite alcanzar nuevos niveles de precisión en aplicaciones de vanguardia. Con un rango ampliado y la capacidad de adquirir e identificar iones secundarios positivos (+ve) y negativos (-ve), la estación de trabajo SIMS es una solución completa para aplicaciones de análisis de composición y perfilado en profundidad. Para el análisis simultáneo de iones +ve y -ve en un paquete SIMS completo, Hiden Analytical también ha desarrollado la innovadora estación de trabajo Hi5 SIMS. Encontrará más información en nuestra documentación del producto más abajo. La espectrometría de masas de iones secundarios, o SIMS, es una de las técnicas más sensibles jamás desarrolladas para interrogar las capas superficiales superiores de un material, desde profundidades de varios cientos de nanómetros (nm) hasta una sola capa atómica. Puede obtener datos de composición de hasta partes por billón (ppb) y es compatible con cualquier material que pueda analizarse de forma fiable en condiciones de vacío. Por consiguiente, los instrumentos SIMS se utilizan habitualmente para analizar cerámicas, metales, materiales orgánicos, polímeros, semiconductores, etc. Esta técnica se divide en dos metodologías distintas: SIMS dinámica y SIMS estática. Cada una de ellas utiliza un haz de iones primarios que incide sobre una muestra en condiciones de vacío, provocando la ablación de volúmenes extremadamente pequeños de material de la superficie; una fracción de este material expulsado se ionizará.