Espectrómetro de masa HMT

cuadripolarpara supervisión de proceso

Un sistema RGA de doble modo para el diagnóstico del vacío y la supervisión del proceso El espectrómetro de masas cuadrupolar Hiden HMT es un sistema RGA de modo dual único capaz de funcionar a presiones de hasta 5×10-3 mbar sin necesidad de bombeo diferencial. El funcionamiento a esta presión se consigue utilizando una combinación de fuente de iones/filtro cuadrupolar especialmente diseñada y un software que corrige la no linealidad de la abundancia. La exclusiva especificación de alta presión hace que el HMT sea ideal para aplicaciones de monitorización de procesos. Análisis de gases residuales Procesamiento al vacío XPS casi atmosférico, APXPS Recubrimiento óptico de películas finas CVD / MOCVD / ALD El HMT sirve para el análisis de procesos en vacío y el análisis de gases residuales, y es vital para la comprobación de las condiciones de funcionamiento de los procesos, así como para el análisis en proceso para la detección de contaminantes inesperados. El sistema HMT también puede funcionar en modo RGA del mismo modo que un RGA cuadrupolar tradicional. Los detectores dobles de Faraday / multiplicadores de electrones proporcionan sensibilidades de presión parcial en el rango de 10-13 mbar. Los procesos típicos que se pueden monitorizar incluyen CVD, grabado, PECVD y PVD. Una herramienta de RGA de proceso para la resolución de problemas y la supervisión. Modo HMT para el funcionamiento a alta presión hasta 5×10-3 mbar (presión parcial mínima detectable 5×10-8 mbar) Modo RGA para un funcionamiento de alta sensibilidad a P < 10-4 mbar (presión parcial mínima detectable 2 x 10-11 mbar) Rango de masa de 100 amu, interfaz de control remoto (PC) a través del software MASsoft Professional para PC Rango de masa de 100 amu, interfaz de control remoto (PC) a través del software MASsoft Professional para PC Estabilidad (menos de ±1% de variación de altura en 24 h) Control del software MASsoft a través de RS232, USB o múltiples sistemas a través de Ethernet LAN