Espectrómetro de masa EQP series

cuadripolarpara análisis

Sistemas para la investigación del plasma Espectrómetros de masas cuadrupolares de alto rendimiento combinados con energía para la caracterización de plasmas. EQP-6 Rango de masas de 300 o 510 amu con espectrómetro de masas cuadrupolar de triple filtro de 6 mm para una amplia gama de aplicaciones de investigación de plasmas. EQP-9 Sistemas basados en cuadrupolos de triple filtro de 9 mm, con la más amplia gama de opciones de masa disponibles. Opciones de 50 a 5000 amu para mediciones de alta estabilidad y análisis de grupos de iones. EQP-20 con cuadrupolo de triple filtro de 20 mm de Hiden con zona I/zona H conmutable para 20 amu con una anchura de pico de 0,003 amu, y un rango de masas de 200 amu con resolución de masa unitaria para la caracterización de plasmas de isótopos de hidrógeno. Análisis de iones y radicales Estudios de grabado/deposición Implantación de iones Ablación láser Análisis de gases residuales Detección de fugas Acoplamiento de electrodos de plasma CVD / MOCVD / ALD Las sondas de plasma de Hiden miden algunos de los parámetros clave del plasma y proporcionan información detallada relacionada con la química de la reacción del plasma. La comprensión detallada de la cinética de reacción de los iones del plasma y de las especies neutras desempeña un papel fundamental en el desarrollo de procesos avanzados de ingeniería de superficies, como el HIPIMS. La fuente integral de iones de bombardeo de electrones permite el análisis de los neutrales y, con la adición del modo de fijación de electrones EAMS (electron attachment mass spectrometry), la separación e identificación de especies radicales electronegativas. Todos los instrumentos de la serie EQP incluyen un analizador de energía de campo sectorial de alta transmisión de 45° para el análisis de energía de iones positivos y negativos hasta 1000 eV.