Un analizador de gases residuales configurado para aplicaciones exigentes de UHV
Los RGA de Hiden para UHV están diseñados y configurados para el análisis de gases residuales en aplicaciones UHV exigentes en las que se requieren mediciones críticas en UHV.
Análisis de gas residual
Detección de fugas
Desorción
Estudios de desgasificación
Ciclos de cocción
Rendimiento de las bombas
Contaminantes del gas de proceso
El analizador HAL 201 RC incluye, como estándar, versiones chapadas en oro de todos los tipos de fuentes de iones. La fuente de iones chapada en oro se suministra para minimizar la desgasificación de la fuente, adecuada para aplicaciones en las que la presión total es < 5 x 10-10 mbar.
EPICS es el software de control de instrumentos estándar utilizado en muchas fuentes de luz de todo el mundo y el sistema Hiden HAL es totalmente compatible con los controladores de software EPICS.
Fuentes de iones bañadas en oro para minimizar la desgasificación de la fuente
Ionizador de impacto de electrones con filamento de iridio recubierto de óxido doble
Detector multipler de electrones doble Faraday/channeltron
Presión parcial mínima detectable de 5 x 10-14 mbar
Presión operativa máxima de 1 x 10-4 mbar
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