Espectrómetro de masa HALO 201 MBE

de procesode vigilanciapara el análisis de gas

Un sistema de análisis de gases para aplicaciones de epitaxia de haces moleculares Los sistemas Hiden HALO están diseñados para aplicaciones de RGA, análisis de gases y monitorización de procesos, incluida la detección de fugas, el análisis de tendencias y el estudio del vacío. Producción de semiconductores Células de combustible El analizador específico para MBE está fabricado con materiales compatibles y diseñado para un uso prolongado en entornos MBE e incluye, de serie, cableado de molibdeno en lugar de cobre y una cubierta de la fuente de iones resistente a la contaminación. Cableado de molibdeno en lugar de cobre para mejorar la vida útil del sistema RGA en entornos MBE Cubierta de la fuente de iones resistente a la contaminación Multiplicador de electrones doble Faraday/channelplate Presión parcial mínima detectable de 2 x 10-13 mbar Opción de extensor térmico para el funcionamiento del RGA durante el horneado