Para el control rutinario del vacío
El software iRGA es una aplicación nueva e intuitiva para la supervisión rutinaria del vacío. Está diseñado para ser sencillo y automático.
Análisis de gases residuales y procesamiento del vacío
CVD / MOCVD / ALD
El nuevo e intuitivo software iRGA está destinado a la supervisión rutinaria del vacío y está diseñado para ser sencillo y automático. Proporciona automáticamente datos de presión parcial para los gases y vapores residuales más comunes, como el hidrógeno, el helio, el agua, el nitrógeno, el oxígeno, el argón y un gas personalizado
El software incluye una nueva vista de tableta en la que el color de fondo cambia en función de la condición de alarma. Además, el software iRGA incluye una función de alarma para enviar alertas a la E/S interna, al Wi-Fi y por correo electrónico
Elección de la unidad de presión, mbar, Torr, Pascal o suma normalizada
Motor de acción para la alarma
Incluye modos de vista de tendencias, exploración, detección de fugas y mantenimiento
Mensajes de salida de disparo por correo electrónico a E/S internas (5 off) y/o a dispositivos Wi-Fi
Alcance automático: en un rango dinámico de 10 décadas con cambio automático entre los detectores de copa de Faraday y multiplicador de electrones
Modo de detección rápida de fugas con indicador de flecha arriba/abajo para el aumento/disminución de la tasa de fuga
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