Espectrómetro de masa XBS

cuadripolarrápidode adquisición de datos

Un sistema para la supervisión de múltiples fuentes en aplicaciones de deposición MBE Las fuentes de haces moleculares requieren un control preciso para el crecimiento de películas finas con calidad de producción reproducible. El sistema XBS (fuente de haz cruzado) de Hiden proporciona una monitorización in situ de múltiples fuentes con salida de señal en tiempo real para un control preciso de la deposición. El XBS de Hiden es una gran herramienta utilizada en la espectrometría de masas de haz molecular. Monitorización y control de MBE Estudios de haces moleculares Análisis de fuentes de haces múltiples RGA de alto rendimiento Desorción Estudios de desgasificación Ciclos de horneado Contaminantes del gas de proceso El sistema Hiden XBS RC es un espectrómetro de masas cuadrupolar diseñado para monitorizar múltiples fuentes de haz simultáneamente, y ofrece de forma exclusiva la aceptación del haz a través de un cono de 70°, transversal al eje cuadrupolar. Las aberturas de aceptación del haz se configuran individualmente para cada posición específica de la fuente de la cámara de proceso, y se fabrican como elementos enchufables reemplazables para permitir la modificación retrospectiva en caso de alteración de la cámara. La alta sensibilidad y la rápida adquisición de datos del sistema XBS proporcionan señales para el control de las tasas de crecimiento desde 0,01 Angstrom por segundo. Alta sensibilidad, detección mejorada de 100% a 5ppb, rango de masas hasta 510 amu Estabilidad mejorada a largo plazo (menos de ±0,5% de variación de altura en 24 h) Fuente de iones de haz cruzado, aceptación del haz hasta +/- 35° con respecto al eje transversal Control de la fuente de iones para la ionización suave y la espectrometría de masas de potencial de apariencia Sensibilidad mejorada para una alta transmisión de masas, Alineación automática de la escala de masas Apertura de aceptación del haz de 2 mm - configurada para la aplicación específica del usuario Resistencia a la contaminación mejorada gracias a la etapa de prefiltro sólo para RF